尹志尧：微观雕刻的工业革命

　　在科技强国的时代浪潮中，一位年近花甲毅然归国的科学家，用二十年光阴打破了西方对芯片制造关键设备的垄断。他带领团队研发的刻蚀机，如同一把微观世界的“雕刻刀”，为中国芯片产业凿开了自主创新的道路。这位被业界誉为“中国芯片刻蚀机之父”的传奇人物，正是中微半导体设备公司创始人尹志尧。

　　爱国世家的科技火种

　　1944年出生于北京知识分子家庭的尹志尧，家族谱系里镌刻着百年家国情怀。其祖父尹寿松作为桐城中学首届学生，1906年公派日本学习铁道工程，归国后振兴东北民族工商业，百姓曾立碑铭记其德政。父亲是留日归国的电化学专家，曾外祖父则是清末革命党人。这种“教育报国”的家族传承，让尹志尧自幼立下科学救国之志。1968年从中国科技大学化学物理系毕业后，他于1980年赴美深造，成为改革开放后首批留学生，在加州大学洛杉矶分校斩获物理化学博士学位。

　　硅谷淬炼的技术哲人

　　1984年加入英特尔时，尹志尧是该公司首位中国籍研发工程师。当全球惊叹英特尔将12.8万个晶体管集成在指甲盖大小的芯片上时，他却将目光投向更底层逻辑：“没有精密设备，就造不出芯片”。这个洞见彻底改变其职业轨迹——他冒险加入濒临破产的泛林半导体，带领团队用三年时间开发出新一代等离子体刻蚀机，不仅挽救公司于危难，更推动该技术实现工业化应用。此后在应用材料公司任职的13年间，他累计获得86项美国专利，成为国际半导体设备领域公认的权威。

　　花甲创业的逆袭之路

　　2004年，60岁的尹志尧做出震惊业界的决定：放弃硅谷百万年薪，带领15人核心团队回国创业。当时中国半导体设备国产化率不足5%，高端刻蚀机完全依赖进口。在上海张江的简陋实验室里，他们用“三个集装箱”的零件拼出首台原型机。面对美国政府的层层审查和技术封锁，尹志尧创新采用“农村包围城市”策略——先攻克存储器芯片设备市场，再进军逻辑芯片领域。2015年，中微研发的7纳米刻蚀机通过台积电验证，标志着中国首次在尖端芯片设备领域达到世界水平。

　　微观雕刻的工业革命

　　刻蚀机作为芯片制造三大核心设备之一，其精度相当于在头发丝横截面上雕刻出立体城市。尹志尧团队独创的“双反应台”设计，将设备效率提升300%，就像给微观加工装上了“双引擎”。截至2020年，中微已申请2000余项专利，其5纳米刻蚀机被三星批量采购。国际半导体协会数据显示，中微在介质刻蚀设备市场的全球份额从零跃升至15%，直接迫使同类进口设备降价70%。这种突破让时任工信部部长苗圩感叹：“终于有人把天价设备打成了白菜价。”

　　永不停歇的科技战歌

　　78岁仍坚持每日工作10小时的尹志尧，办公室挂着祖父题写的“不息”二字。在他看来，半导体产业如同马拉松，中微刚跑完前五公里——其正在攻关的3纳米刻蚀机，需要控制相当于新冠病毒千分之一大小的结构。这位获得“感动上海年度人物”“白玉兰纪念奖”的科学家，始终保持着知识分子的清醒：“我们只是站上了起跑线，真正的较量还在后面。” 当被问及为何选择高龄创业时，他的回答朴素而深刻：“祖父用铁路连接中国大地，我想用技术连接中国与世界的创新版图。”

　　在全球化遭遇逆流的今天，尹志尧的故事诠释着科技无国界但创新者有祖国的深刻命题。从桐城中学走出的家族三代人，用不同时代的报国方式，串联起一部跨越百年的中国科技自强史。正如他常对青年工程师说的：“芯片上的每道刻痕，都是这个时代最生动的国家记忆。”