尹志尧：破局“中国芯”的技术报国者

　　在半导体产业的浩瀚星空中，一位年逾八旬的科学家与企业家，用半生时光书写了一段跨越国界与时代的传奇。他，是尹志尧——被誉为“中国芯片刻蚀机之父”，亦是中微半导体设备公司的创始人。他的故事，不仅关乎技术突破与商业成功，更承载着一代知识分子的家国情怀与科技报国的理想。

　　从“爱国世家”到硅谷精英：一个科学家的启蒙与蜕变

　　1944年，尹志尧出生于北京一个知识分子家庭。他的祖父尹寿松是清末桐城中学首届学生，后赴日本学习铁道工程，归国后以振兴民族工商业为己任，成为四平开埠建设的重要推动者。家族中流淌的报国基因，让尹志尧自幼便立下志向：以科学之力，助力国家强盛。

　　1968年，他从中国科技大学化学物理系毕业，随后于1980年赴美深造，进入加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士。彼时，美国的半导体产业正值黄金期，尹志尧敏锐地意识到，芯片技术将是未来科技竞争的核心。1984年，他成为首位进入英特尔研发部门的中国留学生，参与当时最前沿的芯片工艺开发。在硅谷的二十年里，他先后任职于英特尔、泛林半导体(Lam Research)和应用材料(Applied Materials)等巨头，主导刻蚀技术研发，积累了86项美国专利。

　　花甲之年的归国抉择：一场关于“中国芯”的豪赌

　　2004年，60岁的尹志尧面临人生的重要抉择。彼时，他已在美国半导体行业功成名就，却毅然放弃优渥待遇，带领15人核心团队回到上海，创办中微半导体设备公司(AMEC)。这一决定，源于他深埋心底的执念：“没有自主的芯片制造设备，中国永远无法摆脱受制于人的局面。”

　　刻蚀机，被称为芯片制造的“微观雕刻刀”，其精度以纳米计算(相当于头发丝的万分之一)。当时，全球高端刻蚀机市场被美国、日本企业垄断，中国几乎完全依赖进口。尹志尧深知，要突破技术壁垒，必须从底层创新。他带领团队日夜攻关，甚至将实验室搬到工厂车间，用“边研发边改进”的土办法，硬是在十年内研发出首台国产等离子体刻蚀机。

　　破局之战：从“追赶者”到“领跑者”

　　2017年，中微公司研发的5纳米刻蚀机通过台积电认证，成为全球唯一能与美国应用材料、泛林半导体抗衡的中国企业。这一突破，被业界形容为“在针尖上跳舞”——刻蚀机需在指甲盖大小的芯片上雕刻出数十亿个晶体管，且误差不得超过原子级别。尹志尧用“种田理论”比喻技术积累：“芯片设备研发就像种水稻，必须耐得住寂寞，一季一季地改良。”

　　截至2025年，中微公司已拥有200多项国际专利，其设备应用于华为、中芯国际等企业的生产线，助力中国芯片制造缩短与国际领先水平的差距。尹志尧本人亦因此获评“感动上海年度人物”“全国十大新领军人物”等荣誉，但他始终低调：“我们只是为中国科技大厦添了一块砖。”

　　技术报国背后的哲学：家族传承与时代使命

　　尹志尧的科技报国之路，与其家族历史形成奇妙呼应。祖父尹寿松在清末以实业救国，父亲是留日归国的电化学专家，而他则以刻蚀机打破技术封锁。桐城中学“开启民智、育才兴邦”的精神，通过三代人的实践，演化为“用硬科技守护国家命脉”的新时代注解。

　　面对美国的技术封锁与审查压力，尹志尧展现出科学家的理性与坚韧。2020年，中微公司公开澄清“中国芯推上世界舞台”等夸大报道，强调“技术突破需要脚踏实地，而非炒作”。这种务实态度，正是中国半导体产业从狂热回归理性的缩影。

　　对话尹志尧：关于未来与传承

　　在近期的一次专访中，当被问及“如何看待中国芯片产业的未来”时，尹志尧以数据回应：“全球芯片市场规模已超5000亿美元，而中国自给率仍不足20%。但这恰恰说明，我们的征途是星辰大海。”他特别提到年轻一代工程师：“他们比我们更懂跨界创新，比如用人工智能优化刻蚀工艺参数，这是过去难以想象的。”

　　对于“科学家该不该创业”的争议，他笑称：“技术产业化如同‘过河’，科学家不能只站在岸边指点，必须亲自下河摸石头。”如今，81岁的他仍每天工作10小时，办公室挂着祖父留下的家训：“为天地立心，为生民立命。”

　　尾声：永不熄灭的科技火种

　　从庚子赔款留学生到硅谷技术领袖，从花甲创业到打破国际垄断，尹志尧用一生诠释了“科技报国”的深层含义。他的故事，不仅是个人奋斗的史诗，更映射出中国半导体产业从跟跑到并跑的艰难跨越。

　　正如他常说的那句：“芯片战争没有终局，只有永恒的攀登。”在这条布满荆棘的科技长征路上，尹志尧与中微公司的每一步，都在为中国乃至全球半导体产业的未来，镌刻下新的坐标。